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            產品詳情
            • 產品名稱:SIPV25P,氣動真空軟啟動閥,密封式波紋管,鋁制閥體

            • 產品型號:SIPV25P
            • 產品廠商:真空管件、閥門
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            這類閥是軟啟動的氣動操作管線閥,帶有可更換的孔板,可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。 隨動閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進行,以盡可能減少干擾。隨動閥和主閥都需要單獨的氣動連接。
            詳情介紹:

            概述

            這類閥是軟啟動的氣動操作管線閥,帶有可更換的孔板,可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。

            隨動閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進行,以盡可能減少干擾。隨動閥和主閥都需要單獨的氣動連接。

            應用

            • 當隨動閥打開時,氣流以較低流速在閥的兩側間流過可更換孔板,實現慢抽速。達到用戶指定的預定義壓力級別后,主閥門會根據用戶提供的信號打開,實現全通徑泵送。
              波紋管密封的閥門單向執行,采用氣動打開,彈簧封閉。產品隨附三個可更換孔板,以使泵的性能符合您的制程需要。標準配置中包含一個微開關,用于指示閥門狀態。閥門和微開關都可以加熱到 100°C 以加速脫氣,防止制程氣體在閥門內冷凝。
              盡管閥門主要設計用于半導體行業,但也可以用在其他需要受控抽氣的應用中。

            功能和優勢

            • 平均無故障時間可達 5000000 個循環
            • 抽氣受控制以適合相關制程
            • 鋁閥體
            • 在斷電時閥可以快速反應
            • 供貨時帶有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更換孔板
            • 采用波紋管密封以清潔操作
            • 孔板可更換,維護方便
            • 可加熱到 100 °C 以防制程氣體冷凝

            數據

            閥門執行類型 單向執行,氣動打開,彈簧關閉
            壓力范圍 1 x 10-9 至 2100 mbar

            8 x 10-10 至 1575 Torr
            大壓力差
              打開 1000 mbar/750 Torr
              關閉 2100 mbar/1575 Torr
            泄漏值 10-9 mbar ls- 1

            10-10 Torr ls- 1
            氣動連接器 Rp 1/8(1/8 英寸 BSP)
            氣動工作壓力 2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi
            電氣指示器 單個微開關
            微開關電氣額定值 24 V,1.5 A 交流或直流
            大循環頻率 900 h-1
            波紋管性,MTTF 5000000 循環
            工作環境溫度 5 - 100 °C
            高加熱溫度 100 °C
            構造材料 HE30TF 鋁
            O 型圈 氟橡膠
            4 bar 時的打開/關閉時間 (ms) SIPV25P
              隨動閥 60/20
              主閥 15/41
            重量 (g/oz)
              SIPV25P 920 / 32

              配有可選控制閥

            滬公網安備 31011702004244號

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