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            產品詳情
            • 產品名稱:STP-iXA3306 真空磁懸浮渦輪分子泵

            • 產品型號:STP-iXA3306
            • 產品廠商:渦輪分子泵及分子泵機組
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業內的性能,可將小型電源供給集成到機載控制器內(成熟的 STPiXA3305 系列的新)。 該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于 STP-iXA3305 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。 這一集成的產品易于安裝且占地面積小,可作為應用工具的一體化解決方案。
            詳情介紹:

            製品概要

            STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業內的性能,可將小型電源供給集成到機載控制器內(成熟的 STPiXA3305 系列的新)。
            該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于 STP-iXA3305 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。 這一集成的產品易于安裝且占地面積小,可作為應用工具的一體化解決方案。

            用途

            • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            • 濺射
            • 離子注入源,射束線泵送和站

            特性與優勢

            • 緊湊型設計,包括集成的控制器
            • 性自傳感磁力軸承系統
            • 數字化 5 軸控制
            • 與現有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
            • 可以配置為運行腐蝕性制程

            數據

            入口法蘭尺寸 ISO250F / VG250 / ICF305
            前級抽氣口尺寸 KF40
            抽速 N2 2650 ls-1
            抽速 Ar 2300 ls-1
            壓縮比 N2/H2 >108 / 2 x 103
            極限壓力 10-7 Pa (10-9 Torr)
            允許的前級壓力 266 Pa (2 Torr)
            大氣流 N2 (僅水冷) 4000 sccm

            (6.76 Pam3s-1)
            大氣流 Ar (僅水冷) 2100 sccm

            (3.55 Pam3s-1)
            額定速度 27700 rpm
            啟動時間 <10 分鐘
            固定位置 任何方向
            輸入電壓 200-240 V
            大輸入功率(不帶 TMS) 1500 VA
            大輸入功率(帶 TMS) 1800 VA
            重量 80 kg

            大氣流適用于在 25 oC 以下的水冷卻溫度下連續泵送 N2  或 Ar 氣體,并且使用前級泵(10,000 l/min 尺寸)的情況。 它會隨條件變化而變化。

            滬公網安備 31011702004244號

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