產品詳情
簡單介紹：
Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的，為如今具有挑戰性的應用提供業內的性能、更好的氣流能力和高溫管理。
詳情介紹：
製品概要
Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的，為如今具有挑戰性的應用提供業內的性能、更好的氣流能力和高溫管理。
用途
- 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送和站
特性與優勢
-
- 由于采用全集成控制器和電源，不需要電纜和單獨的
- 控制器安裝卡槽，從而使 TMP 組件具有成本效益且結構緊湊，能夠快速簡單地安裝在狹小的空間。
- 大連續流量達 4300 sccm (N2)，與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
- 使用高 35 °C 的冷卻水供應時，泵能夠高效運轉。
- 提供了溫度管理系統 (TMS) 裝置，用于處理在過程中產生的副產品。
- I/O 遠程、RS232C、RS485、STP-Link 是標配端口。
- UL 標記，CE 標記，符合 SEMI-S2 和 RoHS 標準。
數據
| 法蘭 |
|
KF40 |
| 抽取速度 |
|
|
| N2/H2 | 升/秒 |
|
| VG300 |
|
3800/2700 |
| ISO320F |
|
4000/2700 |
| VG350 |
|
4300/2700 |
| VG400 |
|
4300/2700 |
| 壓縮比 N2/H2 |
|
>108 / 103 |
| 極限壓力 | Pa (Torr) | 10-7(10-9) |
| 允許的前級壓力 | Pa (Torr) | 266(2) |
| 大氣體流速 N2 1 |
|
4300 |
| （僅水冷卻） | (Pa m3/sec) | (7.26) |
| 大氣體流速 Ar 1 |
|
2600 |
| （僅水冷卻） | (Pa m3/sec) | (4.39) |
| 額定速度 | rpm | 24,240 |
| 啟動時間 | 分鐘 | 11 |
| 固定位置 |
|
任何方向 |
| 輸入電壓 | V | 200-240 |
| 大輸入功率 |
|
|
| 不帶 TMS | VA | 1700 |
| 帶 TMS | VA | 2200 |
| 重量 | kg |
|
| VG300 |
|
109 |
| ISO320F |
|
111 |
| VG350 |
|
104 |
| VG400 |
|
111 |
