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            產品詳情
            • 產品名稱:STP-iXA4506 真空磁懸浮渦輪分子泵

            • 產品型號:STP-iXA4506
            • 產品廠商:渦輪分子泵及分子泵機組
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的,為如今具有挑戰性的應用提供業內的性能、更好的氣流能力和高溫管理。
            詳情介紹:

            製品概要

            Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的,為如今具有挑戰性的應用提供業內的性能、更好的氣流能力和高溫管理。

            用途

            • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            • 濺射
            • 離子注入源,射束線泵送和站

            特性與優勢

              • 由于采用全集成控制器和電源,不需要電纜和單獨的
              • 控制器安裝卡槽,從而使 TMP 組件具有成本效益且結構緊湊,能夠快速簡單地安裝在狹小的空間。
              • 大連續流量達 4300 sccm (N2),與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
              • 使用高 35 °C 的冷卻水供應時,泵能夠高效運轉。
              • 提供了溫度管理系統 (TMS) 裝置,用于處理在過程中產生的副產品。
              • I/O 遠程、RS232C、RS485、STP-Link 是標配端口。
              • UL 標記,CE 標記,符合 SEMI-S2 和 RoHS 標準。

            數據

            法蘭
            KF40
            抽取速度

            N2/H2 升/秒
            VG300
            3800/2700
            ISO320F
            4000/2700
            VG350
            4300/2700
            VG400
            4300/2700
            壓縮比 N2/H2
            >108 / 103
            極限壓力 Pa (Torr) 10-7(10-9)
            允許的前級壓力 Pa (Torr) 266(2)
            大氣體流速 N2 1
            4300
            (僅水冷卻) (Pa m3/sec) (7.26)
            大氣體流速 Ar 1
            2600
            (僅水冷卻) (Pa m3/sec) (4.39)
            額定速度 rpm 24,240
            啟動時間 分鐘 11
            固定位置
            任何方向
            輸入電壓 V 200-240
            大輸入功率

            不帶 TMS VA 1700
            帶 TMS VA 2200
            重量 kg
            VG300
            109
            ISO320F
            111
            VG350
            104
            VG400
            111

            滬公網安備 31011702004244號

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