產品詳情
簡單介紹:
Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能,大的制程靈活性。STP301 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了。
詳情介紹:
技術データ
入口法蘭 | ISO100,CF100 |
KF25 | |
抽速 |
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N2 | 300 ls-1 |
H2 | 300 ls-1 |
壓縮比 |
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N2 | >108 |
H2 | >2 x 104 |
加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭) | 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr) |
加熱時的極限壓力(ICF 法蘭) | 10-8 Pa (10-10 Torr) |
大允許進氣口壓力(環境空氣冷卻) | 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr) |
大連續壓力(環境空氣冷卻) | 13 Pa (0.1 Torr) |
額定速度 | 48000 rpm |
啟動時間 | 3 min |
高入口法蘭溫度 | 120 °C |
輸入電壓 | 100 至 120 (± 10%) V 交流或 |
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200 至 240 (± 10%) V 交流 |
啟動時的功耗 | 0.55 kVA |
泵重量 | 11 kg |
控制器重量 | 7 kg |