產品詳情
簡單介紹:
Edwards STP451 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能,大的制程靈活性。STP451 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了。
詳情介紹:
技術データ
入口法蘭 | ISO160 |
KF25 | |
抽取速度 |
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N2 | 440 l s-1 |
H2 | 275 l s-1 |
壓縮比 |
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N2 | >108 |
H2 | >2 x 104 |
極限壓力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
大允許入口壓力 |
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環境空氣冷卻 | 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr) |
大連續壓力 |
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環境空氣冷卻 | 13 Pa (0.1 Torr) |
額定速度 | 48000 rpm |
啟動時間 | 3 min |
高入口法蘭溫度 | 120 °C |
輸入電壓 | 100 至 120 V 交流(± 10) 或 |
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200 至 240 V 交流(± 10) |
功耗 |
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啟動 | 0.55 kVA |
重量 |
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泵 | 12 kg |
控制器 | 7 kg |