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            產品詳情
            • 產品名稱:STP-L301C 真空渦輪分子泵

            • 產品型號:STP-L301C
            • 產品廠商:渦輪分子泵及分子泵機組
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能,大的制程靈活性。 STP-L301(C) 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了。
            詳情介紹:

            概述

            Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能,大的制程靈活性。
              
            STP-L301(C) 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了。
             
            此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網。
              
            如需完整安裝,請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。
             

            應用

            • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            • 濺射
            • 離子注入源,射束線泵送端點站
            • MBE
            • 擴散
            • 光致抗蝕劑脫模
            • 晶體/晶膜生長
            • 晶片檢查
            • 負載鎖真空腔
            • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
            • 高能物理:射束線、加速器
            • 放射線應用:融合系統、回旋

            功能和優勢

            的轉子  
            • 大的制程靈活性
            • 無油
            • 低振動
            • 高度
            • 免維護
            的控制器設計  
            • 自動調整
            • 自行診斷功能
            • 直流電機驅動
            • 無電池運行
            緊湊型設計  
            • 占地面積小
            • 半機架控制器
            低振動  
            • 內置振動隔離系統提供了 STP301C 和外部隔離器的性能。

            技術データ

            入口法蘭 ISO100,CF100
            KF25
            吹掃口 KF10
            抽速
              N2 260 ls-1
              H2 290 ls-1
            壓縮比
              N2 >108
              He 5 x 105
              H2 2 x 104
            加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭) 6.5 x 10-6 Pa

            (5 x 10-8 Torr)
            加熱時的極限壓力(ICF 法蘭) 10-8 Pa

            (10-10 Torr)
            大允許進氣口壓力(環境空氣冷卻) 6.7 x 10-2 Pa

            (5 x 10-4 Torr)
            大連續壓力(環境空氣冷卻) 13 Pa

            (0.1 Torr)
            額定速度 48000 rpm
            啟動時間 3 min
            高入口法蘭溫度 120 °C
            輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或

            200 至 240 (± 10) V 交流
            啟動時的功耗 0.55 kVA
            泵重量 13 kg
            控制器重量 7 kg

            滬公網安備 31011702004244號

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