產品詳情
簡單介紹：
小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉子進行設計。它提供極高的吞吐量、高的性和的性能，滿足半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省可觀的空間，而其的沉積減少系統提高了性和性能。STPA1603C 已經在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。
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