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            產品詳情
            • 產品名稱:STP-XA3203C 真空渦輪分子泵

            • 產品型號:STP-XA3203C
            • 產品廠商:渦輪分子泵及分子泵機組
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高氣體的吞吐量。 此泵基于新的平臺設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 其出色的性能既適用于溫和的應用環境,也適用于嚴苛的環境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。
            詳情介紹:

            概述

            STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高氣體的吞吐量。 
            此泵基于新的平臺設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。
            其出色的性能既適用于溫和的應用環境,也適用于嚴苛的環境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。

            應用

            • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            • 濺射
            • 離子注入源,射束線泵送端點站
            • MBE
            • 擴散
            • 光致抗蝕劑脫模
            • 晶體/晶膜生長
            • 晶片檢查
            • 負載鎖真空腔
            • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
            • 高能物理:射束線、加速器
            • 放射線應用:融合系統、回旋

            功能和優勢

            的轉子設計  
            • 增強的 H2、N2 和 Ar 性能
            • 改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內的性能
            • 免維護
            5 軸磁懸浮系統  
            • 無污染
            • 低振動
            性轉矩管理  
            • 獲得的轉矩減少機械裝置
            優化的溫度管理系統  
            • 高溫 TMS 能力
            • 低沉積
            • 內置冷卻機械裝置
            • 更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)
            • 延長壽命
            • 可用于嚴苛制程
              
            • 符合 SEMI®,具有 CE 標記,列于 UL 中

            數據

            入口法蘭 ISO320F
            抽速
              N2 3200 ls-1
              H2 2300 ls-1
            壓縮比
              N2 >108
              H2 >6 x 103
            極限壓力 10-7 Pa
            大允許前級壓力 266 Pa
            大允許氣體流量
            N2(水冷卻) 2300 sccm

            (3.8 Pam3s-1)
            Ar(水冷卻) 1900 sccm

            (3.2 Pam3s-1)
            額定速度 27500 rpm
            啟動時間 8 min
            固定位置 任何方向
            水冷卻
            流量 3 lmin-1
            溫度 5-25 °C (41-77 °F)
            壓力 0.3 MPa
            的吹掃氣體流量 50 sccm

            (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
            輸入電壓 200 至 240 (± 10) V 交流
            功耗 1.5 kVA
            泵重量 80 kg (176 lb)
            控制器重量 12 kg (26.4 lb)

            滬公網安備 31011702004244號

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