產品詳情
簡單介紹：
STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對氣體都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的設計，提供功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。
它設計成既可以處理溫和的應用，也可以處理嚴苛的應用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
詳情介紹：
