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            產品詳情
            • 產品名稱:STP-XA4503C 真空渦輪分子泵

            • 產品型號:STP-XA4503C
            • 產品廠商:渦輪分子泵及分子泵機組
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍(從高真空到高流量要求),對氣體都具有更高的吞吐量。 此泵基于新的設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 它設計成既可以處理溫和的應用,也可以處理嚴苛的應用,例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
            詳情介紹:

            製品概要

            STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍(從高真空到高流量要求),對氣體都具有更高的吞吐量。 
              
            此泵基于新的設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 
              
            它設計成既可以處理溫和的應用,也可以處理嚴苛的應用,例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。

            功能和優勢

            • 的轉子設計
              • 改進的氬氣性能
              • 同類產品中抽速高
              • 寬的制程范圍
              • 在較低壓力下具有較高的吞吐量
              • 免維護
              • 可用于嚴苛制程
            • 5 軸磁懸浮系統
              • 無污染
              • 低振動
              • 高度
            • 經優化的溫度分配
              • 低沉積
              • 內置冷卻機械裝置
              • 更高的氣體吞吐量
              • 使用壽命延長
              • 符合標準
              • 列于 UL 中,具有 CE 標記,符合 SEMI® S2

            數據

            入口法蘭尺寸 VF300、ISO320F、VG350
            前級抽氣口尺寸 KF40
            抽速
              N2 3800 至 4300 ls-1

            (取決于具體型號)
              H2 2500 ls-1
            壓縮比
              N2 >108
              H2 6 x 103
            極限壓力 10-7 Pa / 10-9 mbar
            大允許前級壓力 266 Pa / 2.66 mbar
            大允許氣體流量 N2
            (僅水冷卻)
            2800 sccm

            4.73 Pam3s-1
            大允許氣體流量 Ar
            (僅水冷卻)
            2150 sccm

            3.63 Pam3s-1
            額定速度 24000 rpm
            運轉到 90% 額定速度的時間 12 分鐘
            固定位置 任何方向
            水冷卻
              流量 3 lmin-1
              溫度 5 – 25 °C / 41 – 77 °F
              壓力 0.3 MPa
            的吹掃氣體流量 N2 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
            輸入電壓 200 – 240 ±10 % V 交流
            大輸入功率(不帶 TMS) 1.5 KVA

            滬公網安備 31011702004244號

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