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            產品詳情
            • 產品名稱:STP-iX455 真空一體式渦輪分子泵

            • 產品型號:STP-iX455
            • 產品廠商:渦輪分子泵及分子泵機組
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機驅動系統,與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統的安裝于機架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。 此泵的氮氣抽速為 450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學、光刻和其他對振動的應用。
            詳情介紹:
            概述
            STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機驅動系統,與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統的安裝于機架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。
            此泵的氮氣抽速為 450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學、光刻和其他對振動的應用。

            應用
            金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            濺射
            離子注入源,射束線泵送端點站
            MBE
            擴散
            光致抗蝕劑脫模
            晶體/晶膜生長
            晶片檢查
            負載鎖真空腔
            科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
            高能物理:射束線、加速器

            放射線應用:融合系統、回旋


            功能和優勢
            緊湊型設計,包括集成的控制器
            性自傳感軸承系統
            數字化 5 軸控制
            與現有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
            可以配置為運行腐蝕性制程
            自動平衡系統 (ABS) 標準
            自動減振 (AVR) 標準
            列于 UL 中,具有 CE 標記,符合 SEMI® S2

            數據

            入口法蘭 ISO100K
            抽速
            N2 300 ls-1
            H2 300 ls-1
            壓縮比
            N2 >108
            H2 >1 x 104
            極限壓力 6.5 x 10-6 Pa
            大工作壓力 1.3 x 10-1 Pa
            允許的前級壓力 67 Pa
            額定速度 55000 rpm
            啟動時間 <6 分鐘
            固定位置 任何方向
            冷卻方法 自然冷卻(加熱和氣體泵送時進行水冷卻或空氣冷卻)
            潤滑油 不需要
            前級泵 240 lmin-1
            泄露磁通量
            軸向方向 <100 m/Gauss
            徑向方向 <100 m/Gauss
            環境溫度范圍 0 至 40 °C
            存儲溫度范圍 -25 至 55 °C
            重量 15 kg

            滬公網安備 31011702004244號

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