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            產品詳情
            • 產品名稱:iH160 半導體干式真空泵

            • 產品型號:iH160
            • 產品廠商:干式爪型真空泵
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            Edwards 半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的性和性能。 iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
            詳情介紹:

            概述

            Edwards 半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的性和性能。
              
            iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。

            應用

            • 負載鎖
            • 輸送
            • 計量
            • 平版印刷
            • PVD 制程
            • PVD 預清潔
            • RTA
            • 剝離/灰化
            • 刻蝕
            • 植入源
            • HDP CVD
            • RTP
            • SACVD
            • MCVD
            • PECVD
            • LPCVD
            • ALD

            有關任何特定應用條件下 iH 系統穩定性的建議,請與 Edwards 聯系。

            功能和優勢

            • 優化了設施消耗。
            • 無需預防性維護。
            • 懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
            • 在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
            • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
            • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
            • 整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

            數據

            峰值速度 165 m3h-1
            97 cfm
            2750 l min-1
            極限真空 1 x 10-2 mbar
            7.5 x 10-3 Torr
            1 Pa
            典型軸封氮流量 4 slm
            進氣口連接 ISO63
            連接 NW40
            15 psi 壓降下典型冷卻水流量 120 l h-1
            2 l min-1
            重量 244 kg
            極限功率輸入 3.1 kW
            電機額定功率 5.0 kW
            油容量 0.85 l

              
            數字均為無氣鎮時的典型值。

            滬公網安備 31011702004244號

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