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            產品詳情
            • 產品名稱:EPX180L 半導體干式真空泵

            • 產品型號:EPX180L
            • 產品廠商:半導體干泵
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。EPX180 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。 模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
            詳情介紹:

            概述

            新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。EPX180 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
            模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

            EPX 泵系統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作,增壓室內無潤滑或密封液。這樣可以泵送系統清潔,不會因為系統的排空而使油或液體回流到系統中。
            泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此,EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭(由客戶指定)連接到泵。冷卻水的提供必須與環境條件(濕度和溫度)相當,以便不會達到結。
            泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅動,該驅動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時,馬達會加速到某個速度,該速度受可以由變換器驅動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低,馬達速度會加快,直至該速度終達到其預定的大速度。如果入口處的壓力增大,則馬達速度會再次減慢。
            EPX L 系列的泵不能進行手動操作;這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監視,而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。
            EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。
            泵保護傳感器可在出現故障狀態時自動關閉泵。

            應用

            • EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
              EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

            功能和優勢

            • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
            • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
            • 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在進氣口壓力下連續工作。
            • 清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
            • – EPX 基于經過現場驗證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。
            • 可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結構的網絡,以進行診斷監視和控制。

            數據

            峰值速度 170 m3h-1

            105 ft3min-1

            2835 lmin-1
            極限真空

            <1 x 104 mbar

            <7.5 x 10-5 Torr

            <1 x 10-2 Pa
            預熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
            入口法蘭 ISO63
            法蘭 NW25
            噪音 <59 dB(A)
            水接頭 3/8 in 快速
            冷卻水流速 2 lm-1
            冷卻水溫度 15 – 35°C
            電源供給 200/208 V,50/60 Hz 三相
            極限功率 1.4 kW
            電機額定功率 3.0 kW
            TIM C3
            重量 43.5 kg

            滬公網安備 31011702004244號

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