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            產品詳情
            • 產品名稱:EPX180LE 半導體干式真空泵

            • 產品型號:EPX180LE
            • 產品廠商:半導體干泵
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。 EPX180 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。 EPX LE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制,并能夠連接到結構的網絡,以進行遠程控制和監視。
            詳情介紹:

            製品概要

            新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。 EPX180 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
            EPX LE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制,并能夠連接到結構的網絡,以進行遠程控制和監視。

            應用

            • EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
              EPX“LE”系列的設計旨在用于清潔工作應用泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定),通過制程機臺接口提供控制。

            功能和優勢

            • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
            • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
            • 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在進氣口壓力下連續工作。
            • 清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
            • – EPX 基于經過現場驗證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。
            • 可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結構的網絡,以進行診斷監視和控制。

            數據

            峰值速度 170 m3h-1

            105 ft3min-1

            2835 lmin-1
            極限真空

            <1 x 104 mbar

            <7.5 x 10-5 Torr

            <1 x 10-2 Pa
            預熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
            入口法蘭 ISO63
            法蘭 NW25
            噪音 <59 dB(A)
            水接頭 3/8 in 快速
            冷卻水流速 2 lmin-1
            冷卻水溫度 15 – 35°C
            電源供給 200/208 V,50/60 Hz 三相
            極限功率 1.4 kW
            電機額定功率 3.0 kW
            TIM
            重量 43.5 kg

            滬公網安備 31011702004244號

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